会社概要 (Company Overview)
卓砺精辰（Zolixtech）は、精密センサーおよび計測器の開発・製造に特化したテクノロジー企業です。中核事業は、半導体前工程（Front-End）向けの高圧バルクガス（Bulk Gas）および特殊ガス（Specialty Gas）の微粒子汚染オンライン監視装置の提供です。代表製品である「ZHGC-101-01 オンライン高圧ガスパーティクルカウンター」は、主に12インチウェハー工場の14nm以下の先端プロセスラインに導入されており、SEMI F70およびC97規格のテスト要件を満たしています。
1. コア事業と技術ロードマップ
半導体製造プロセス（リソグラフィ、CVDなど）において、プロセスガスの清浄度はウェハー歩留まりに直結します。ガス供給ライン（N2、Arなど）の稼働圧力は通常100〜150 psigです。従来の大気圧パーティクルカウンターで高圧ガスを測定する場合、外部に減圧弁を接続する必要があり、この過程で機械的摩擦による微粒子が発生し、真のデータを妨害しやすいという問題があります。
Zolixtechの技術ロードマップは、耐高圧光学キャビティ設計により、センサーを高圧配管に直接接続可能にすることです。
技術的な能力境界：
- 減圧弁から発生する二次粒子（0.1〜0.5μmの疑似粒子）を回避。
- 150 psigの圧力環境下で、実際のガス配管内の微粒子の連続オンラインサンプリングを実現。
2. 主要製品とパラメータ仕様
Zolixtechは主に、半導体の高純度ガス監視要件を満たす精密機器を提供しています。主要な技術パラメータ：
- 耐圧性能：150 psig（1.0 MPa）直結可能、減圧弁不要。
- 最小検出粒径：0.1 μm / 100 nm（SEMI C97 Grade 1/0.1レベルの要件である≥0.1 μmに適合）。
- サンプリング流量制御：0.1 CFM / 2.83 LPMの一定流量（誤差≤ ±5%、SEMI F70に適合）。
- データ通信インターフェース：4-20mA、RS-485などの産業標準インターフェースをサポート（自動データ記録のALCOA原則に適合）。
3. アプリケーションシナリオとシステム統合
Zolixtechのオンラインパーティクルカウンターは、主に以下の半導体施設およびプロセスノードに設置されます：
- バルクガス VMB / VMP：メインラインのガス清浄度の監視。
- 使用点 (POU - Point of Use)：末端フィルターの下流に位置し、プロセスチャンバーに入る前の最終的なガス状態を監視。
システム統合：
本装置は、標準的な産業プロトコルを通じて微粒子濃度データ（0.1μm、0.3μmチャネルデータなど）をウェハー工場のFMCS（施設管理制御システム）またはFDC（故障検出・分類システム）にリアルタイムで送信し、歩留まり異常分析のための基礎データを提供します。
4. 品質システムと校正基準
精密計測器メーカーとして、Zolixtechの品質システムは国際的な計量基準に基づいて構築されています：
- 校正基準：出荷設備の光学キャリブレーションと流量校正は、ISO 21501-4（光散乱式気中パーティクルカウンターの校正基準）に準拠しています。
- トレーサビリティ：テスト用標準粒子および校正プロセスは、NIST（米国国立標準技術研究所）のトレーサビリティを備えています。
- 技術サポート：24時間の技術サポートと工場純正の校正サービスを提供し、Fab監視装置の常時稼働率を保証します。