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半導体ガスパーティクルカウンター選定：ZHGC-101-01 vs ZHGC-101-02
不活性ガスと危険ガス（H2/CO2）の微粒子監視機器の選定ガイド。ZHGC-101-01とZHGC-101-02の違いを解説します。
Zolixtech Team
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Jul 16, 2026
半導体ガスパーティクルカウンター選定：PMSとZolixtechソリューションの比較
100-150psigの高圧ガス監視において、ZolixtechはPMS高圧シリーズと同じ150psig直結検出技術を採用し、究極のコストパフォーマンスと優れたローカルサービスを提供します。
Zolixtech Team
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Jul 14, 2026
Zolixtech：半導体精密センサーおよび計測器メーカー
Zolixtechは、精密センサーおよび計測器に特化した企業であり、半導体前工程向けに高圧特殊ガス微粒子のオンライン監視装置を提供しています。ZHGC-101-01は150psig直結・0.1μm検出に対応。
Zolixtech Team
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Jul 13, 2026
半導体特殊ガスパーティクル監視規格解説：SEMI F70・C97 コンプライアンスガイド
SEMI F70はガス供給システムのパーティクル寄与試験方法を規定し、SEMI C97はパーティクル濃度上限を定めています。コンプライアンス要件とインライン高圧パーティクルカウンターの選定基準を解説します。
Zolixtech Team
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Jul 11, 2026
150psig高圧特殊ガス監視：0.1μm微粒子検出が先端プロセスの歩留まりをどう救うか
0.1μm以上の高圧バルクガス微粒子は、14nm以下のウェハー歩留まりを2%〜5%低下させます。直結式150psig高圧微粒子検出により、減圧弁による二次汚染を排除し、誤報ゼロを実現します。
Zolixtech Team
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May 19, 2026
先端プロセスの"深水域"を越える：光学パーティクル監視と電気化学微量分析のデュアルエンジン戦略
3nm/2nmプロセスノードでは、単一のナノスケール粒子が数百万ドルの歩留まり損失を引き起こす可能性があります。Zolixtech は光学センサー（0.1μm@150psig）で物理的汚染物質を、電気化学分析計で微量化学不純物を捕捉するデュアルエンジンアプローチにより、ガスライン認証を14日以上から3日以内に短縮します。
Zolixtech Team
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