ZHGC-101-01 インライン高圧ガスパーティクルカウンター

Pain Point: 新設または保守後のガス供給配管は長くノードが多いため、従来のオフラインサンプリングでは汚染を見落としやすく、システム認証に14日以上を要し、稼働開始が大幅に遅れます。

Solution: 原位置でのNISTトレーサブルな監視データを提供し、ガス供給システム全体の認証サイクルを14日以上から3日以内に大幅に短縮します。

Pain Point: 3nm/2nmの先端プロセスにおいて、プロセスガスに混入したナノスケール粒子はウェーハの結晶欠陥を直接引き起こします。一度の未検知の汚染イベントが数百万ドルの甚大な歩留まり損失をもたらします。

Solution: 配管フル圧力（40〜150psig）下で0.1μmレベルのリアルタイム粒子アラームを提供し、汚染ガスがウェーハチャンバーに到達する前に瞬時に遮断し、大量廃棄を防止します。

Pain Point: 従来のアクティブキャビティセンサーは、強腐食性または反応性の特殊ガスを監視する際に浸食されやすく、深刻なガス漏れの安全リスクをもたらすだけでなく、交換・メンテナンスコストが極めて高額になります。

Solution: 特許取得済みのパッシブレーザーキャビティと完全不動態化処理された316Lステンレス鋼接液部を採用し、危険な反応性ガスの安全かつ長期的なオンライン監視を実現し、メンテナンス頻度を60%以上削減します。