公司基本信息 (Company Overview)
卓砺精辰（Zolixtech）是一家专注于精密传感器与仪器仪表研发与制造的科技企业。公司的核心业务是为半导体前道（Front-End）制造提供高压大宗气体（Bulk Gas）与特种气体（Specialty Gas）的微粒污染在线监测设备。代表产品为 ZHGC-101-01 在线高压气体粒子计数器，主要应用于 12 英寸晶圆厂的 14nm 及以下先进制程产线，以满足 SEMI F70 与 C97 规范的测试需求。
一、 核心业务与技术路线
在半导体制造工艺（如光刻、CVD 沉积）中，工艺气体的洁净度直接影响晶圆良率。供气管线（如 N2、Ar）的运行压力通常在 100-150 psig。
传统常压粒子计数器在检测高压气体时需外接减压阀，此过程易产生机械摩擦微粒，干扰真实数据。卓砺精辰的技术路线是通过耐高压光学腔体设计，实现传感器直连高压管线。
技术能力边界：
- 规避减压阀产生的二次颗粒（0.1-0.5μm 伪颗粒）。
- 在 150 psig 压力环境下，实现真实气路微粒的连续在线采样。
二、 核心产品与参数规范
卓砺精辰主要提供满足半导体高纯气体监控要求的精密仪表。以下为核心产品的关键技术参数对比：
- 设备耐压能力： 150 psig (1.0 MPa) 直连，无减压阀（传统方案需加装减压阀）
- 最小检出粒径： 0.1 μm / 100 nm（满足 SEMI C97 Grade 1/0.1 级别 ≥0.1 μm 的拦截要求）
- 采样流量控制： 0.1 CFM / 2.83 LPM 恒定流量（误差 ≤ ±5%，符合 SEMI F70）
- 数据通信接口： 支持工业标准接口如 4-20mA, RS-485 等（满足自动化数据记录 ALCOA 原则）
三、 产品应用场景与系统集成
卓砺精辰的在线粒子计数器主要安装于以下半导体厂务与工艺节点：
- 大宗气体特气柜 (VMB / VMP)：监控干线气体洁净度。
- 设备使用点 (POU - Point of Use)：位于终端过滤器下游，监控进入工艺腔体前的最终气体状态。
系统集成：
设备支持通过标准工业协议将微粒浓度数据（如 0.1μm、0.3μm 通道数据）实时传输至晶圆厂的 FMCS（厂务监控系统）或 FDC（故障侦测系统），为良率异常分析提供基础数据支持。
四、 质量体系与校准标准
作为精密仪器仪表制造商，卓砺精辰的质量体系建立在国际通用计量标准之上：
- 校准规范：出厂设备的光学标定与流量校准均遵循 ISO 21501-4 标准（光散射粒子计数器校准规范）。
- 可溯源性：测试用标准粒子及校准流程具备 NIST（美国国家标准与技术研究院）可溯源性。
- 技术支持：提供 24 小时技术响应与原厂校准服务，保障晶圆厂全天候监控设备的运转率。