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产品矩阵
覆盖过程分析、环境监测、成分分析、智能传感四大类,提供硬件设备与应用平台全栈解决方案。

防爆型高压粒子计数器 (Explosion-proof High Pressure Particle Counter) ZHGC-101-02
专为高科技制造及严苛环境设计。高纯度气体是生产精度与产品质量的关键,微量颗粒直接影响工艺稳定及良率。ZHGC-101-02 具备防爆安全腔体设计,且集成了8英寸工业级电容触摸屏,实现独立的数据分析与本地操作。兼容无毒及多类反应性气体,完美适配半导体等精密领域的复杂监测场景。

ZHGC-101-01 在线高压气体粒子计数器
专为晶圆厂前道工艺设计的在线高压气体粒子计数器。采用自主研发的无源激光腔体技术,在40-150psig工作压力下实现0.1μm @ 0.1cfm极限检测灵敏度,兼容CDA、N2、Ar、He等全系半导体惰性气体。NIST溯源校准,打破国外技术垄断。
Competitive Analysis
技术对标:全面超越
在关键性能指标上比肩国际先进标准,成功打破部分领域国外技术垄断。
核心指标
进口主流品牌
卓砺精辰
01最小粒径 (Sensitivity)
0.1 μm
0.1 μm
02零计数 (Zero Count)
< 1个/5分钟
< 1个/5分钟
03核心部件
自产/外购
核心优势
自主研发04服务响应
48小时
核心优势
24小时响应05定制化能力
弱
核心优势
强 (软硬一体)* 数据来源:国家法定计量检定机构 (SIMT) 测试报告及第三方公开市场数据
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