防爆认证型 / Ex-Certified
ZHGC-101-02 防爆型高压粒子计数器
专为晶圆厂先进制程中的反应性与腐蚀性特气（如 HCl, NH3, 硅烷等）在线监测设计。ZHGC-101-02采用独家防爆安全容器与专利无源激光腔技术，彻底隔离危险气体，杜绝传统传感器易腐蚀、易泄漏的致命缺陷。在苛刻环境下依然提供 0.1μm @ 0.1cfm 的极限检测灵敏度，实时阻断纳米级颗粒引发的晶圆报废，是高规格半导体厂务特气监测的终极解决方案。
核心优势
极致安全与免维护 (Ultimate Safety & Zero-Maintenance)
- 防爆安全容器彻底隔离有毒、易燃或腐蚀性特气，从物理层面消除气体泄漏爆炸风险。
- 专利无源腔体使核心光学元件不与反应气体接触，将传统设备的高频更换率降为零，实现“真·免维护”。
死守先进制程良率红线 (Safeguarding Advanced Node Yield)
- 在 40-150 psig 满压管路中实现 0.1μm 极限精度实时监测。
- 秒级捕捉特气管路中的纳米级污染波动，在污染气体进入反应腔前瞬间告警切断，挽回每次数百万美元的晶圆报废损失。
全面对接厂务物联网 (Seamless IoT Integration)
- 提供丰富的工业级数据接口(RS-485/Ethernet)，数据直通半导体厂务 MES 或 SCADA 平台。
- 形成完整、不可篡改的电子审计追踪记录 (Audit Trail)，轻松应对最严苛的质量合规审核。
核心应用场景 / Core Applications
反应性特气管路在线监测 (Reactive Gas Online Monitoring)
Pain Point: 在 3nm/2nm 制程中，使用 HCl、硅烷等强腐蚀性或反应性特气时，传统粒子计数器极易被腐蚀短路，引发灾难性安全事故与停线。
Solution: 部署具备防爆安全容器的 ZHGC-102。其无源腔体有效避开腐蚀，提供连续、安全的 0.1μm 颗粒在线监控，确保持续生产不断供。
危险气体分配系统（VMB）认证 (Hazardous Gas System Qualification)
Pain Point: 针对易燃易爆气体管路的新建或维保认证，传统离线采样风险极高且周期长达数周，严重影响产能爬坡速度。
Solution: 在线直接输出 NIST 溯源的合规颗粒物数据，免除高危的人工离线取样环节，将高危气路系统的认证周期压缩 70% 以上。
防爆车间环境/Zone区监控 (Explosion-proof Zone Monitoring)
Pain Point: 部分特种化学品合成或气体分装车间有着极其严格的防爆等级要求，常规检测仪器被严禁入内。
Solution: 专门打造的防爆加强型机身设计，从内源切断引燃源，完美满足特气厂房高标准防爆区域（Zone区）的安全准入需求。
技术规格
技术规格
粒径通道 / Size Channels8个通道 (0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 2.0, 3.0, 5.0μm)
采样流量与管路 / Flow & Tubing0.1 scfm，316L EP (电解抛光) 不锈钢管
光学系统 / Optical SystemHe-Ne 激光器配合无源共振腔，完全隔离反应性气体
计数效率与零计数 / Efficiency & Zero Count>50% @ 0.14μm；零计数 < 2 颗/ft³ 或 0.2 颗/分钟
最大浓度 / Max Concentration3,000 颗/ft³
显控界面 / HMI Display8英寸 G+G 工业级彩色电容触摸屏，支持多点触控与数据可视化图表
数据存储与接口 / Storage & Interface内置大容量存储，标配 10/100M 以太网及 RS-485，支持无缝对接厂务 SCADA/MES 系统
校验溯源 / Calibration全面溯源至美国 NIST 标准
供电参数 / Power Supply100-240V, 50-60Hz (整机低功耗运行 < 20W)
物理与电气参数
外形尺寸 / Dimensions650mm × 200mm × 230mm
设备重量 / Weight28kg (防爆强化机身)
环境温度 / Env. Temp工作: -20~70°C (-4~158°F) | 存储: -30~80°C (-22~176°F)
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